ETSI02

同時通訳

東京ビッグサイト 展示会場3ホール TechSPOT INNOVATION and IOT

12月12日(水)11:20-12:10

半導体工場運用のスマート化を向上させるSEMIのファクトリー・オートメーション・スタンダード

概要

本セッションでは、半導体製造ラインのスマート化を進めて来たSEMI Standard “GEM300およびEDA（装置データ収集）” の紹介および、最近開発された “SEMI E170 Secured Foundation Of Recipe Management System” の紹介を致します。

プログラムアジェンダ

SEMI Standards: Information & Control