出展者によるセミナー
ETSI02
同時通訳
東京ビッグサイト 展示会場3ホール TechSPOT INNOVATION and IOT
12月12日(水)11:20-12:10
半導体工場運用のスマート化を向上させるSEMIのファクトリー・オートメーション・スタンダード
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概要
本セッションでは、半導体製造ラインのスマート化を進めて来たSEMI Standard “GEM300およびEDA(装置データ収集)” の紹介および、最近開発された “SEMI E170 Secured Foundation Of Recipe Management System” の紹介を致します。
プログラムアジェンダ
SEMI Standards: Information & Control