出展者によるセミナー
ETSE09
同時通訳
東京ビッグサイト 展示会場4ホール TechSPOT Exhibitor Seminars
12月13日(木)12:40-13:30
CD-SEMによるEdge Placement Error (EPE)の計測課題と対策
Sponsored by
概要
現在CD-SEMを用いた電子線計測は幅広い用途に用いられている。本発表では、EUVを含めた多様化する次世代パターニング技術のコントロールに必要なEdge placement error(EPE)の計測課題を明らかにするととともに、CD-SEMのロバストな計測ソリューションを提案する。
プログラムアジェンダ
(株)日立ハイテクノロジーズ