ETSE09

同時通訳

東京ビッグサイト 展示会場4ホール TechSPOT Exhibitor Seminars

12月13日(木)12:40-13:30

CD-SEMによるEdge Placement Error (EPE)の計測課題と対策

概要

現在CD-SEMを用いた電子線計測は幅広い用途に用いられている。本発表では、EUVを含めた多様化する次世代パターニング技術のコントロールに必要なEdge placement error(EPE)の計測課題を明らかにするととともに、CD-SEMのロバストな計測ソリューションを提案する。

プログラムアジェンダ

（株）日立ハイテクノロジーズ