出展者によるセミナー
TSN4
同時通訳
東京ビッグサイト 東5ホール TechSTAGE NORTH
12月14日(木)10:20-12:00
サステイナブルマニュファクチャリング/ハイテクファシリティーフォーラム
ケミカルリサイクル率の向上と有償化
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概要
本フォーラムでは、これまで環境規制対応、火災・地震など災害対応、ファブ効率アップといった観点からの情報提供を行ってきました。今年は、ケミカル(含むガス、水)のリサイクルについて、リサイクル率の向上と有償化の観点から、各社の取り組みとそのための技術・手段の提案をしていただきます。
プログラムアジェンダ
(株)堀場製作所 佐竹 司
オルガノ(株)二ツ木 高志
東京エレクトロン(株)松田 俊也
10:20-10:25
開会/イントロダクション
10:25-10:55
Chemical-Gas Treatment and Reclamation
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.
300mm Facility Division
Section Manager
Kenneth Li
There are many challenges with the supply of gases and chemicals. In addition to a stable supply, the extremely high quality requirements of semiconductor manufacturing are a huge challenge. Because of such requirements, more gas chemicals are easily wasted during daily operation (such as more flush, more material dump). In addition to the loss of money, these waste will also cause some harm to the environment. This talk will explore the challenges of handle raw materials and how to minimize the waste and reuse of raw materials from daily handle unit.
10:55-11:25
Sustainable Material Management in Semiconductor Industry
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.
300mm Facility Division
Section Manager
Megan Chung
The evolution of waste management of TSMC, which we call Circular Economy 1.0 to 3.0, shows our determination and capability to keep moving toward the industry ecosystem. The first stage started with maximizing waste segregation and enhancing reclaim rate. The second stage was in-house regeneration and material value added. Finally, we had been moving to“cradle to cradle,”in which we recycle waste back to into process material for sustainable manufacturing. This presentation will share our practices for environmentally friendly and looking forward to working together with all partners to build the eco-system for the semiconductor industry.
11:25-11:45
装置の排気適正化と有効活用
(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ
シニア・マニュファクチャリング・エグゼクティブ
河邉 肇
半導体工場ではクリーンルームの空調維持に大きく費用が発生している。
その内、クリーンルーム空気を排気として仕様している装置に対して適正な排気のあり方や再利用について当社の開発ラインを例に紹介します。
11:45-11:50
Q&A
11:50-12:00
閉会