出展者によるセミナー
ETSW11
同時通訳
東京ビッグサイト 展示会場1ホール TechSPOT WEST
12月15日(木)15:00-15:50
立命館大学 谷/鈴木研究室
縦穴構造を有するエポキシ樹脂研磨パッドの開発/pnダイオードを利用したMEMSアクチュエータの研究
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概要
スエードパッドを用いて研磨されたウェーハの円周に縁だれが生じる.縁だれを抑制するため、微小な直方形の縦穴を表層にもつ縦穴構造研磨パッドを開発した。
半導体内に生じる空乏層を空間ギャップとして利用した、オールシリコンMEMSアクチュエータに関する機械振動特性の評価結果を報告する。
プログラムアジェンダ