出展者によるセミナー
ETSE08
東京ビッグサイト 西展示棟ホール2F 出展者セミナールーム A
12月13日(金)11:20-12:10
極薄、特殊ウエハー向け非接触搬送技術
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概要
極薄、特殊ウエハーの非接触搬送と反り、ゆがみなどがあるウエハーの取り扱いは難しく、矛盾する問題を解決する必要があります。
CoreFlowの非接触搬送技術のソリューションにより、フロンドエンドとバックエンド、両方のラインでの重要なプロセスで、極薄、特殊ウエハーの高精度かつ非接触搬送を可能にします。
プログラムアジェンダ
CoreFlow ltd.