出展者によるセミナー
ETSE13
同時通訳
東京ビッグサイト 展示会場4ホール TechSPOT Exhibitor Seminars
12月15日(金)10:20-11:10
絶縁膜CVDプロセス装置排気系の安全管理とコスト削減
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概要
絶縁膜CVDプロセス装置から排出される排ガスの安全管理は重要な課題です。また、中国で新しい工場が設立されるにつれ、3D NAND やDRAM を中心に、継続的なコスト競争が激しさを増しています。
これらの課題に対する当社の取り組みをご紹介します。
プログラムアジェンダ
エドワーズ(株)